Hybridní vakuové stanice

Hybdirní vakuové stanice určitým způsobem kombinují přednosti systému s paroproudými a s kapalinokružnými vývěvami.

Základ tvoří kapalinokružné vývěvy komprimující odsávaný procesní plyn na atmosférický tlak. Těmto vývěvám je předřazen pomocný paroporudý ejektor, který zajišťuje dosažení potřebných nízkých tlaků na sání. Pro snížení objemového průtoků odsávaného kapalinokružnými vývěvami je za paroproudý ejektor standardně instalovaný pomocný kondenzátor.

K přednostem hybridních systémů patří vedle nízké energetické náročnosti také jejich schopnost dosahovat velmi nízkých tlaků na sání a minimální riziko kavitace v případě kapalinokružných vývěv.